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真空式等离子处理系统
型号（Model）
CRF-VPO-4L-S
控制系统（Control system）
PLC+触摸屏
电源（Power supply）
380V/AC,50/60Hz, 3kw
中频电源功率（RF Power）
1000W/40KHz/13.56MHz
容量（Volume ）
30L(Option)
层数（Electrode of plies ）
4(Option)
有效处理面积（Area）
200(L)*150(W)(Option)
气体通道（Gas）
两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2
产品特点
超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精准的控制设备运行；
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
应用范围
真空等离子清洗机适用于印制线路板行业，半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域硅胶、塑胶、聚合体的等离子表面粗化、刻蚀、活化。
等离子清洗机新型的清洗技术和设备逐步得到开发和应用
随着科技的不断发展，各种新技术应用于我们的生产中，其中等离子设备的
应用成为材料表面处理工艺中很为重要的一步，我们在平时的使用中要注意设备的操作规范。今天来给大家分析下等离子清洗机的原理以及技术应用要求。等离子清洗机是一种利用能量转换技术，在一定真空负压的状态下，以电能将气体转化为活性极高的等离子体，等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有(机)污染物进行清洗，处理完后在极短时间内有(机)污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。
等离子清洗机新型的清洗技术和设备逐步得到开发和应用。它不分处理对象，可处理不同的基材，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料都可用等离子体很好地处理，因此，特别适合不耐热、不耐熔等对处理工艺要求高的基底材料。在工业生产的过程中，经常会出现一些橡胶塑料件粘接困难的现象，这是因为聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，在没有经过等离子清洗机进行表面处理的情况下，若是进行印刷、粘合、涂覆等行为时，效(果)都很差，甚致没有办法进行。虽然有些工艺采用化学剂即可对这些橡塑表面进行处理，这样才能够改变材料的粘接效(果)，但是这种方法很难进行掌握，而且化学剂本身就具有一定的毒性，操作起来十(分)的麻烦，而且成本也很高。
等离子清洗机是一款全新的高科技产品，它也被称为等离子表面处理机，它的主要特点是可以达到一个常规清洗所不能达到的效(果)，同时改善产品的品质问题，也有效的解决了环保的问题。等离子清洗机在LED行业的清洗主要是在芯片封装的时候，可以彻底的解决在打线之前的清洁度问题，同时通过等离子设备做表面清洁可以提高焊球剪切强度和引脚拉力强度。
等离子清洗机的应用领域：
微电子工业：电子器件/集成电路清洗和还原；
LED工业：提高LED的寿命；
汽车行业：橡胶--金属的键/粘合；
塑料、橡胶工业：粘合，键合的预处理；
半导体制造：芯片、硅片等清洗，氧化物去除；
精细化工：涂装工业，涂装上色，镀膜前的精细清洁；
医疗(技)术：医疗手术镶嵌部件、支架的清洗、消(毒)等；
传感技术：传感器；
光学激光：光学镜、镜头等清洗；
科研院所：SEM/TEM/FIB电镜样品的清洗，同步辐射，真空/超高真空密封系统的清洗；
玻璃，金属，陶瓷等以提高粘接强度、增强附着力。
