系列产品主要技术指标:
1)检测样品最大口径:(130mm×130mm)~(1000mm×600mm);
2)瑕疵分辨率:优于0.5um;
3)检测的疵病几何特征:各种划痕、麻点、破边等、文字缺损校验;
4)被检样品可水平、垂直放置扫描检测;
5)软件及结果输出:配备“超光滑表面疵病数字化评价系统”软件,可输出包含表面瑕疵定位、定量信息的电子报表;
6)照明及成像系统:特制的无盲点照明系统配备显微散射暗场成像技术;
7) 评价标准:
• 国际标准 ISO10110-7
• 美国军标 MIL-PRF-13830B
• 同时可以根据客户要求,对不同的样品(光学元件表面、金属元件表面)瑕疵(划痕、麻点、污渍等)的检出要求进行图像处理软件的研发;
8)评价方法:采用获得国家发明专利的定量评估方法;
9)对有特殊洁净要求的检测配备有专业的净化台;
10)表面瑕疵质量检测应用范围:
DHS-1 型(适合于中小口径检测)
• 各种精密光学元件、激光器谐振腔表面瑕疵;
• 金属元件表面瑕疵;
• 手机屏表面瑕疵。
DHM-2型、DVL-3 型(可用于大口径检测)
• 大口径光学平板表面瑕疵;
• 大口径硅片表面瑕疵;
• 各类液晶屏、显示屏的表面瑕疵。