超光滑大口径表面疵病数字化检测仪

本系列产品是目前国内外首创的可对各种光滑光学元件和金属表面疵病实现快速、自动化、微米量级分辨率检测的数字化设备，能够有效解决目视检测效率低、准确性差的难题。可应用于光学元件、激光器谐振腔、微光元件、光滑金属、硅片、液晶屏、手机外壳、微缩文字等各类元件表面疵病的检测。可检测表面疵病的类型包括各种划痕、麻点、污渍、破边等。通过采用不同行程范围的扫描装置，可实现不同大小样品的检测，被检元件口径最大可达1000mm×600mm或更大。本系统拥有多项国家发明专利。

系列产品主要技术指标：

       1）检测样品最大口径：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）； 

       2）瑕疵分辨率：优于0.5um； 

       3）检测的疵病几何特征：各种划痕、麻点、破边等、文字缺损校验；

       4）被检样品可水平、垂直放置扫描检测； 

       5）软件及结果输出：配备“超光滑表面疵病数字化评价系统”软件，可输出包含表面瑕疵定位、定量信息的电子报表；

       6）照明及成像系统：特制的无盲点照明系统配备显微散射暗场成像技术；

       7) 评价标准：

        • 国际标准  ISO10110-7  

        • 美国军标  MIL-PRF-13830B

        • 同时可以根据客户要求，对不同的样品（光学元件表面、金属元件表面）瑕疵（划痕、麻点、污渍等）的检出要求进行图像处理软件的研发；

       8）评价方法：采用获得国家发明专利的定量评估方法；

       9）对有特殊洁净要求的检测配备有专业的净化台；

       10）表面瑕疵质量检测应用范围：

              DHS-1 型（适合于中小口径检测）

        • 各种精密光学元件、激光器谐振腔表面瑕疵；

        • 金属元件表面瑕疵；

        • 手机屏表面瑕疵。

              DHM-2型、DVL-3 型（可用于大口径检测）

        • 大口径光学平板表面瑕疵；

        • 大口径硅片表面瑕疵；

        • 各类液晶屏、显示屏的表面瑕疵。