显微镜检查机

一般项目

工作限重

5公斤（含）以下

外型尺寸

2320mm × 2160mm × 2000mm（以实际设计为准）

机器重量

1.2吨（含）以下

● 適用LCD面板尺寸最大65寸

● 工作电源 220V、30A

● 无熔丝保护断路器保护

● 靜电手环连接点( 3M )

● 工作环境溫度 20 ℃ ~  30 ℃＋ / － 5 ℃

● 工作环境相对湿度 65 ± 5 ％ RH

加工载台及X/Y/Z轴驱动系统

工作平台尺寸

1250 mm X 900 mm

载台材质

精密研磨光学玻璃平台

载台底座

机密钢构底座

XY轴有效行程

1250 mm X 900 mm

XY轴驱动形式

伺服马达系统搭配机密螺杆

XY轴最小解析度

1um/pulse 

重现性

小于等于5 um

Z轴最大行程

100mm

Z轴驱动形式

伺服马达系统搭配机密螺杆

Z轴最小解析度

0.1um/pulse

以实际设计配置为准

光学影像系统

显微镜

观测/镭射加工专用型

CCD

1/2”color CCD   

落射光源

高亮度卤素光源系统（100W）

透射光源

高亮度卤素光源系统（150W）

Guide Light

高亮度卤素光源系统（100W）

物镜切换系统

4孔/电动切换式（线性）

精密物镜组

5倍、10倍、20倍、50倍（后两者具备观测/镭射加工功能）