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检查速度快，20秒以内检查完毕(500x500mm Film)
根据Pattern幅度，决定分辨率 (50um,70um,100um)
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Item
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Specification
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Film尺寸
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( ex. 500x500 )
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Cell 检查单位
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大尺寸 Cell 检查 (4”, 7”,10” 等)
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Pattern 宽度
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> 70㎛宽度为准 ±14㎛
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线形异物宽度
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> 21㎛ X 21㎛
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线形异物长度
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> 21㎛
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OPEN 宽度
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> 21㎛
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SHORT 宽度
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> 21㎛
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TILT 量
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>± 21㎛
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Cell 检查数量
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自动检查 4 个 Cell
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