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产品参数：
● 外尺寸（W*D*H）： 2000*1200*1850mm(不含FFU高度260mm)
● 工作台面高度 ：约980mm
● 基板尺寸： 380*300mm
● 移动平台行程（MAX）： 650mm
● 真空腔真空度 ：50Pa
● 贴合精度 ：±0.1mm
● 工作节拍（自动状态）： 1分钟（单工作平台）
● 工作气压（Mpa）： 0.3-0.6 Mpa
● 工作电压： AC 220V /50Hz
● 总功率（KW）： 约3KW
● 真空采集方式 ：分子真空泵/真空泵
● 工作区域洁净度 ：百级
● 高效过滤效率：99.99% 0.3um
● 初效过滤效率 ：30%
