
用途:主要用于TP与LCM或盖板和INCELL(ONCELL)
优势:CCD自动对位系统,良率高,尺寸兼容性好
尺寸:7″~13.3″
精度:≤±0.04mm
产能:2400pcs/day
机台尺寸:1350*1600*2400mm
工艺流程:
1.人工将TP/ LCM 放置到对应物料Stage上
2.人工将TP/ LCM的保护膜剥离
3.气缸控制TP平台前移到LCM交接处,由LCM交接平台吸取TP
4.伺服轴控制TP交接平台X向移动到CCD组件处读取TP相对位置信息,在移到真空贴合位置,通过参数设置和LCM的位置信息调节TP的X & θ坐标
5.伺服轴控制LCM平台至CCD组件位置得到LCM的位置信息,再移动到真空贴合位置,同时控制贴合位置对应的Y方向坐标
6.LCM、TP位置调整好后上下腔体合拢,真空管路与真空腔体对接
7.真空腔体压合,抽真空,产品贴合,破真空,开真空腔,真空管路与真空腔体脱开
8.LCM平台与TP交接平台回位
9.人工从LCM平台上取下成品,放置LCM