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产品主要特点：
·节拍时间约20秒（标准规格：自动对位允许值在0.5μm时除曝光时间），高速进行曝光处理。
·采用直读式GAP感应器配合独自研发的控制系统的方式，使掩膜（MASK）和基板之间GAP设定更高速，更精确。
·搭载基板平台温度控制和掩膜（MASK）冷却系统，以防止基板和掩膜随温度变化发生伸缩。
各种型号尺寸对比
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型号
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MA-5501ML
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MA-5701ML
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MA-5111ML
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基板尺寸
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370 x 470mm
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550 x 650mm
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730 x 920mm
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对位
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非接触式：可进行预对位～自动对位
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间隙（GAP）
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装载探知传感功能
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光源
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超高压水银灯：2kW or 3.5kW or 5kW
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超高压水银灯：10kW
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超高压水银灯：18kW
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