MicroStage是横河公司推出的独特的整合了直线电机.横河的直接驱动电机的三轴运动平台，DYNASERV在市场上取得好的销售成果已经20年了，伴随着DYNASERV系列直驱电机的发展，LINEARSERV系列直线电机也取得了良好的发展与壮大。
正如现在你所见，直接驱动伺服是一种高精度.高速响应的新一代紧凑型电伺服系统。它已经取代了传统的AC/DC伺服电机，并且应用在很多工厂自动化以及产品的产业机械上。
MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直线电机的高速.高精度.高紧密度的运动控制平台。
MicroStage运动平台课应用于各个工业的各个机械设备，特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上，这种高精度的运动控制平台性能已经被很多用户认可。
DD马达定子采用高磁性的稀土永久磁铁，通过直接驱动方式，可实现较高的力矩质量比，马达反馈采用新型编码器。DM系列的解析度最高可达4096000PPr.DM1A系列的绝对精度和重复定位精度为+-15arc-sec和+-1arc-sec。新型智能驱动器采用数字控制技术，可实现4倍的解析度以及前馈功能，整定时间大大缩短。
DD系列DG系列 DM系列 DR系列 IM系列 RM系列 NSC系列线性马达直线电机 DD系列 特点 不需要加减速机,即可输出高扭矩,高解析度,并能承受大惯量负载 由于没有减速机,所以系统精度高,体积小,刚性强,安装简易,能快速的达到定位(Fast settling time),并且能在低速平稳运转 简易的三种控制模式:扭矩/速度/位置控制模式 最大扭矩达500Nm 最大解析度达1024000步/转 重复定位精度可达2弧秒 负载惯量可达100倍 DG系列 特点 自动的调节(Autotuning) 解析度DR系列提高2倍,DM系列提高4倍 可提供PLC,Profibus,DeviceNet或CC LINK等接口 可存储90个程序,快闪记忆体迅速进行参数修改 DM系列 特点 铸铝壳体,高精度,高重复性±2弧秒 增量式编码器反馈(ENCODER) 直径264,,160和116毫米 转矩达200NM 解析度达1024000步/转 可应用于无尘室操作 外转子、中空、转台式交流伺服电机 低速：小于5转/秒 高精度：达±2秒重复性精度 高转矩：4Nm-400Nm 符合CE要求 高分辨率：4096K步/转 反馈方式：旋转变压器、光电编码器 全闭环：位置环、速度环、力矩环 接受±10V控制 接受脉冲/方向控制 负载惯量可达400倍 DR系列 特点 铸铁壳体,价位相对较低,重复精度±5弧秒 无刷式解码器反馈(RESOLVER) 直径264,205,150和100毫米 转矩达600扭米 解析度819200步/转 DYNASERV，DD(直接驱动)马达已经发展成为一个实用的装置，它具有力矩大，精密度高和成本性能好的特点。 线性马达 特点 最大推力达300NM 最高速度达2m/s 位置重复精度可达0.1Um 行程50-1500mm,最大承载200公斤 低速运转平稳.速度波动1% 平台可配置1-6个滑块独立运动 可接受脉冲,速度,扭矩指令 DYNASERV，DD(直接驱动)马达已经发展成为一个实用的装置，它具有力矩大，精密度高和成本性能好的特点。 直线电机 特点 无齿槽,无刷直线伺服电机,全闭环控制 不锈钢带防护,最高加速度是5G,最大承载180kg 最高速度3米/秒,最大推力300N,最大行程1905mm 线性编码器反馈,最高分辨率0.1um 精密滚动导轨定位 UL.CUL,CE/LVD.CE/EMC认证
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