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全自动量测仪

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品牌:
Max-Plus
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所在地:
广东 东莞市
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长期有效
最后更新:
2018-09-17 09:08
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公司基本资料信息

相关说明
     最大荷重 (Max. work piece weight)

100kgs

移动速度 (Driving speed)

X,Y: 200mm/sec(max.) Z:100mm/sec(max.)

驱动装置 (Driving system)

X,Y: 线性马达 Z: 滚珠螺杆+伺服马达

驱动分辨率 (Driving syetem)

X,Y: 0.1μm Z:0.5μm

精度(Accuracy)

CD量测

重复精度:

3δ≦0.025μm(50X&100X) 3δ≦0.05μm(20X)

Total pitch量测

重复精度:

3δ≦0.5μm

回授装置

X,Y:双频雷射干涉仪 Z:光学尺

回授分辨率

10nm

机台 长x宽x高

225026001780mm

物镜 (Objective Lens)

Magnifications:50X N.A. ; 0.55 W.D. ; 13.0mm

感光组件 (lmage Sensor)

1/2〃colorCCD: ICX418AKL

有效画素 (Effective Picture)

768(H)x494(V)

画素大小 (Unit Cell Size)

8.4x9.8μm

视野 (FOV)

0.12x0.1mm

影像分辨率 (Resolution)

0.16x0.2μm

光源 (Lighting unit)

闪频同轴光源

自动对焦装置 (Auto focus)

Contrast法AF & laser AF

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