光伏无尘净化车间设计施工

    光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前微电子产业飞速发展，集成电路技术已迈入0.18微米以下的时代，极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。

    光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组（MAU）和循环空调机组（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿，洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。

    1 CP室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，CP室工艺设备用酸量较多，采用全新风空调机组（MAU-3）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-洁净区。

    2 ML室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。

    3 CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

    4 7级、6 级的无尘室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风，房间侧下百叶风口回风。其气流流程为：新回风混合!中效空气过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效空气过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。

    5 洗净室、品质检查室净化级别为7 级，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+风机过滤器单元（FFU)）的空调方式。采用的气流形式为顶部FFU送风，房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%，洗净室、品质检查室对NH4+、SQx浓度有要求，需在循环机组（AHU）内增设化学过滤器。5级净化间的气流流程为：新回风混合-化学过滤器（NH4+）-化学过滤器（SQx）-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤器单元（FFU）-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。

    净化生产无尘车间的湿度是由新风机组MAU-1、2来保证，控制新风机组送风状态点，根据送风状态设定值来调节干蒸汽加湿器的电动执行机构和表冷器及加热器回水管上的电动二通阀的开度。露点温度DPT由检查室内湿度敏感元件HE连续整定。净化生产无尘车间的温度是由循环机组AHU来保证的，根据室内温度来调节表冷器回水管上的电动二通阀的开度。中净环球净化(www.ccg-sz.com)可提供光伏无尘净化车间的咨询、规划、设计、施工装修等配套服务。