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洁净室气流检测，对于单项流洁净室，所测截面上的测点间距均为0.2-1m，垂直单向流要求取4个测点截面：洁净室的纵剖面，洁净室横剖面，距地面0.8m和1.5m的两个水平面；水平单向流要求取5各测点截面，洁净室的纵剖面，工作区水平面，距送、回风口0.5m处的两个纵剖面和房间中心的总剖面。对非单向流洁净室要求取3个测点截面：具有代表性的送、回风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面；测点间距要求纵剖面上为0.3-0.5m，水平面上为0.5-1m。用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，用量角器测定气流流向偏离规定方向的角度。工作区气流流向偏离规定方向的角度不大于14度，应绘出气流流型图，并给出分析结果。
洁净室自净时间的检测，以大气浓度为基准，测定必须在洁净室停止运行相当时间，含尘浓度已接近大气浓度时进行，首先测出洁净室内的浓度，然后开机，定时读数，直到浓度达到最低限度为止，这一段时间即为自净时间。
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