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电力
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AC380 3P 50Hz 150A
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有效曝光面积
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1200mm×820mm
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使用光源
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采用进口10KW卤素灯管2支
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灯管冷却方式
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内/外高纯度石英玻璃管，配合冰水间接冷却
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台面冷却方式
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气冷式直接冷却曝光台面
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曝光台面
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上框采用MYLAR（平面与凹凸均可提供）
下框采用进口强化玻璃，上下框采用电磁锁
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操作方式
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采用人机介面控制（中，英文可切换）
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真空度
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采用数位式真空表
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台面均匀性
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80%以上
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灯管寿命
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保固800小时
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机台尺寸
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长3250+700(踏板)X宽1750X高1900+200(悬臂)mm
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冰水用量
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40L/min
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机台重量
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约1500Kg
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Exposure drawer
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upper drawer use mylar .
down drawer use glass.
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Power supply
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AC 380V, 3P, 50Hz , 150A.
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Effective exposure area
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1200×820mm
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Light source
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10KW metal halid-Lamp. 2pcs
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Cooling system of lamp
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direct cooling with cooled air .
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Cooling system of drawer
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direct cooling with cooled air .
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Operation
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Intelligent LCD controller with English and Chinese language
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Vacuum
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Dry vacuum pump .
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Uniformity
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up 80%.
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Life of lamp
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More than 800 hr.
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Dimension
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3250+700(W)X1750(D)X1900+200(H)mm
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Weight
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1500KG
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