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◆ 外形尺寸(不包括报警灯)
850(W)×1000(D)×1850(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢，约200升)550(W)×700(D)×530(H)mm
◆ 电极面积530(W)×560(D)mm ，13层
◆ 等离子发生器(美国MKS)频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN601 (17L/S) （前级泵可选配爱德华干泵）
英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
