离子蚀刻机 20-M/NS-8 http://www.hakuto-vacuum.cn/product-detail.php?id=288
上海伯东日本 NS 进口离子蚀刻机 20-M/NS-8,适合中等规模量产使用的离子刻蚀机。
离子蚀刻机 20-M/NS-8 主要技术参数:
基片尺寸 |
直径 3英寸 X 8片 |
样品台 |
直接冷却 |
离子源 |
20cm 考夫曼离子源 |
电源 |
WELL-5000(可更换为国内电源 |
上海伯东是日本NS离子蚀刻机中国总代理,NS离子蚀刻机对磁性材料、黄金、铂和合金金属提供最佳蚀刻技术,很容易做各种材料的蚀刻,主要应用于薄膜磁头 (Thin film Magnetic Head),自旋电子学 (Spintronics),MR Sencer,微电子机械系统 (MEMS Micro-electromechanical Systems),射频设备 (RF Devices),光学组件 (Optical Component),超导电性 (Super Conductivity)等。可依据客户实际需要,提供客制化服务。
NS离子蚀刻机主要优点:
- 干式制程的微细加工装置,使得在薄膜磁头,半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。
- 物理蚀刻的特性,无论使用什么材料都可以用来加工,所以各种领域都可以被广泛应用。
- 配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。
- 射频角度可以任意调整,蚀刻可以根据需要做垂直,斜面等等加工形状。
- 基板直接加装在直接冷却装置上,所以可以在低温环境下蚀刻。
- 配置公转自转传输机构,使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。
- 机台设计使用自动化的操作流程,所以可以有非常友好的使用生产过程。
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机,离子刻蚀机等。
若您需要进一步的了解详细信息或讨论,请参考以下联络方式:
上海伯东:叶小姐 台湾伯东:王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw
www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有,翻拷必究!