ITO Film

透明导电膜(TCO)目前最主要的应用是ITO膜,还有其他AZO,等, 

　　ITO 薄膜是一种半导体透明薄膜, 它是氧化铟锡( indium t in ox ide) 英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列( In2O 22SnO 2) 也称之为ITO 薄膜。作为透明导电电极, 要求ITO 薄膜有良好的透明性和导电性。所以, 此类材料的禁带宽度E g 一般都大于3 eV , 其掺杂组分要偏离化学计量比。ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法[ 1, 2 ]。与其它透明导电薄膜相比, ITO 薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。