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一、产品性能
◇高感度
◇高分辨率
◇对基板粘附性好
◇良好涂布性能
二、工艺
基板：ITO玻璃 (30Ω)
膜厚：1.62μm
前烘：100℃X 90sec. (热板)
曝光：宽曝光度
显影：0.8% KOH X 60sec.
后烘：120℃X 120sec. (热板)
蚀刻：HNO3：HCl：H2O = 4：23：73 @ 40℃
剥离：3.0% NaOH @ 50℃X 120sec
三、测试结果
测试条件
基板 ：ITO玻璃
膜厚 ：1.62um
前烘 ：100℃ X 90sec.
曝光 ：60-100 mJ/cm2
显影 ：0.8% KOH X 60sec.
后烘 ：120℃ X 90sec
剥离 ：3.0% KOH @ 50℃ X 120sec.
测试项目 HN-003 Competitor
粘度(25℃，mpa.s) 50 50
涂布均匀性 5.08% 5.92%
曝光能量(mj/cm2) 80 95
侧向腐蚀 ( A ) <100 <100
分辨率 (μm) 5 5
剥离效果 OK OK
