中国总代理薄膜厚度量测系统适用于ITO与防指纹膜厚度测试

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公司基本资料信息

详细说明

應用範圍：

薄膜太陽能電池: aSi , TC O, CI GS, C dS, C dT e

光學鍍膜: hardnes s c oat i ng, ant i - ref l ec t i on

c oat i ng, d i el ec t r i c f i l t er s

FPD: Pol yami des , Res i s t a nd Cel l G aps

LCD and LED: I TO, GaN

Semi c onduc t or a nd Di el ec t r i c s : O x i des ,

Ni t r i des , O L ED

系統特色

1) 即時運算

2) 量測速度小於1秒

3) 量測膜厚範圍: 3 0 0 - 4 0 0 , 0 0 0 A n g s t r o m

4) 反射率, 表面粗糙度量測

5) 使用簡單, 成本效益高

6) 最多可同時量測四層膜厚

系統模式

反射式光纖或

反射式積分球 (8/D, D /8 Sel ect i ve)

波長範圍 380-850nm, 3 80-1100nm, 380-1650nm or c ustom

膜厚量測範圍 300-400, 000 Angst rom

解析度 0. 5-2nm

精確度 1 nm

重複性±1%

量測速度少於1秒

量測光源高瓦數鹵素燈源 (380-1650nm)

適用樣品光學鍍膜 (玻璃,丙烯酸,PET,及矽晶圓Si O2, I TO, ZnO, CuO) , 藍寶石GaN , 彩色濾片, 太陽能電池,

偏光鏡等等

系統平台固定平台, x-y st age (行程: 100mm*100mm,150mm*150mm 或客製化)或自動平台

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