涂布机装置

本装置是在玻璃基板上OC涂布的装置。

           ◆涂布方式： 狭缝式涂布
 

     ◆装置构成:→Loader  Slit coater UN-Loader  OR  ROBOT 

  主  要  规   格

 基板尺寸：根据实际情况而定           

 涂布厚度一致度:±3%~.(从玻璃边缘 15mm算起)

 涂布厚度：1.5μm或以上（干燥后）

 节拍:25-30sec/sheet

（实际根据产品尺寸而定）

 装置洁净度:Class100

 平面度 ：10μm以下