控氧型洁净烘箱

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公司基本资料信息

详细说明

•该洁净烘箱标配氮流量控制（手动/程序），氧量浓度实时监控等功能，(PPM级氧量浓度采集系统可选），有效预防高温造成的氧化反应。

•采用美国原装品牌超高温高效过滤器。风阻小，净化效率高，无硅油。内部洁净度10～10K级（FS209E)可选

•德国品牌离心风机使用寿命长，低噪音，高静压

•水平层流的结构特点降低了开关门时外界对干燥箱内部洁净度的影响

•先进的风道，降低高效过滤器带来的风阻影响，减少高效过滤器进风口的高温积聚

•温度变化快；出回几的均匀性保证了洁净程度的均匀性

•5寸彩色可编程控制器

•多重温度保护，确保设备及被试产品的安全

•长期稳定工作在250℃/400℃（可选)

•内胆SS-304不锈钢，外壳钢板静电消散型中喷涂可选（Rosh认证，兼容无尘间环境)

洁净烘箱主要应用：

•半导体的导电胶固化工艺

•半导体晶圆退火工艺

•其他工艺应用

控氧洁净烘箱是CBI研制的一种高效、稳定、安全的洁净烘烤箱。

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