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S系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择最适合的功能配置，确保最佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
S系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
S系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
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技术指标
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载物台(常规晶圆载物台）
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尺寸
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6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
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材质
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不锈钢
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平整度
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≤±2.5μm
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真空区域*
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0，2"，4"，6"环形吸附**
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真空控制
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手动控制，独立真空区域
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真空驱动方式
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真空泵
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载物台电性能
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载物台信号导通，可选择接地或接信号
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*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。
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载物台移动基座
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X-Y轴行程范围*
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6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程
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精度
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1μm
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R轴粗调角度范围
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360°
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R轴细调角度范围
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±9°
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微调精度
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0.0001°/deg
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Z轴细调行程范围
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13mm
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细调精度
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1μm
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Z轴快升行程
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0~6mm, 可调
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Z轴往复精度
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<1μm
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载物台快速拖出行程
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100mm
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*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
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