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产品特点：
1. 简洁的结构设计，占用空间小（44cm x 28cm x 49cm）。
2. 简单的功能配置，高性价比的测试探针台系统。
3. 操作简易，适用于被测点尺寸在50μm以上或样片尺寸4”以内的测试。
4. 完整的系统配件，满足I-V/C-V测试、RF测试等测试需求。
5. 标准的产品系统，可在2周内快速交货。
产品简介
Mini系列探针台结构设计小巧紧凑，功能配置简单，为用户提供了高效的空间利用和高性价比的测试方案。
Mini系统可满足用户急迫的使用需要、标准的产品系统可在2周内交货。
Mini系列可兼容多种测试配件，用户可将Mini系列可应用于不同的分析测试中，如漏电精度低于100fA的I-V测试、分辨率为0.1pF的电容测试以及DC-67GHz的微波测试等等。
Mini系列仅包含了探针台的基础功能，用户可快速上手探针台的操作。载物台X-Y移动基座采用同轴调节结构，可快速精准地定位测试样片。
载物台360°R轴粗调，可快速地对准探针和被测点。
载物台真空吸附采用旋钮开关，相较于真空拔子开关，旋钮开启和关闭真空的过程中不会产生震动，可很好地保护探针和被测点。
探针台底座配置XX材料防震脚垫，能有效减弱从外界传导至探针台的震动，提升Mini系列的稳定性。
全内置的载物台真空管路和接地线路，让用户在无干扰的情况下更加简单高效地进行测试。
性能参数
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载物台
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尺寸
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4"(101.6mm)
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材质
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不锈钢
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平整度
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≤±2.5μm
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真空区域
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0，2"，4"，环形吸附
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真空控制
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手动控制，独立真空区域
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载物台电性能
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载物台信号导通，可选择接地或接信号
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载物台移动基座
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X-Y轴行程范围
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2"*2"(50.8mm*50.8mm)
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精度
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10μm
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R轴粗调角度范围
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360°
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探针座放置平台
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材质
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沉镍不锈钢
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平台板尺寸
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可放置8个SE40或4个SE80
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平台板至载物台高度
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1.496"(38mm)
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探针座兼容性
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可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
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