三维测量显微镜

三维测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和精确测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置.

一、规格  

1、光学成像系统  

（1）无限远光学系统,管镜焦距200mm

（2）铰链式三目镜筒,30°倾斜,  瞳距55-75mm

（3）高眼点,大视场目镜WF10X/22

（4）长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055,  5X/0.14,  10X/0.28,  20X/0.29,  50X/0.42

（5）五孔物镜转换器

2、调焦系统   

  同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm

3、载物台  

 6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm

4、三维测量系统  

（1）分辨率:  1μm

（2）测量精度:  ±(2+L/200)μm

（3）重复定位精度:  2μm

5、照明系统  

  冷光源光纤反射照明器:150W

6、完善和全面的测量软件

（1）完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)

（2）坐标系的设定,摆正,旋转

（3）显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换