刻蚀机、溅射台和PECVD机维修

专业维修半导体薄膜工程高压电源，直流电源、控制器、电子板,检测设备，升压器。

对高压电源升压过程下降，无电压输出、短路、无电源、无显示、内部烧坏、无控制信号、检测不到主信号、不稳定、内部打火、变压器坏有专业的维修设备检测设备，可测试。

多年维修半导体高压电源经验，配件充足，费用低
应用对象包括：刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统，也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源

单频射频电源 、双频射频电源 、 直流电源 、ESC静电卡盘电源 、自动调谐匹配网络。

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