曝光机

设备持点：
高精度自动台板
三针式自动对位
CCD镜头
自动输送系统
可连线
曝光模式可选择轻接触式Soft-contact mode /近距离曝光式Proximity mode
输送玻璃以胶轮带动
本装置配有单光源系统

基本规格：
处理基板材料：已涂胶玻璃尺寸：14″×16″ 玻璃厚度ｔ＝0.4～1.1mm
烙板（Mask）材料：可透过紫外光线玻璃。尺寸：14″×16″×5mmt

电源：本体及单光源两系统
本体：3相，220V，15A，60Hz
单光源：3相，220V，40A，60Hz
压缩空气(C.D.A)：0.5Mpa，400nl/min
热排气：15m³/min
真空：－0.08Mpa，60nl/min
机房要能承受500kg/m³以上重量。
装置外观：本体：2000×1055 ×1820mm
本体加单光源：2000×1635 ×2200mm
重量：本体：500kg，
光源：300kg，合计：800kg