USI’s nozzle-free ultrasonic spray technology
使用非喷嘴式雾化喷涂技术,溶液经由扁平的供液嘴流淌出来后,被无针头式超音波震动喷头雾化,再藉由侧面之低压空气输送材料至基材表面,形成一高均匀性、无缺陷薄膜。干膜最薄可达100 nm,与材料特性相关。
设备规格可依客户应用做搭配,如 PV 360,每小时可生产出3,000片5” or 6” 太阳能硅晶圆;MAX 800,每小时可产出 > 600 片的10.1” 玻璃,并符合无尘室100 等级要求。
-无针头式超音波喷涂原理
-应用:
光阻涂布 (Photoresist)
抗反射层涂布 (AR)
抗污层涂布 (AS)
导电性墨水涂布 (Conductive inks)
奈米墨水涂布 (Nano particle inks)
奈米碳管墨水涂布 (Nano tube inks)
保护胶涂布 (Conformal coating)
燃料电池-白金触媒喷涂
太阳能电池- 磷酸喷涂、氯化镉 (CdCl2)喷涂
光阻涂布 (Photoresist)
抗反射层涂布 (AR)
抗污层涂布 (AS)
导电性墨水涂布 (Conductive inks)
奈米墨水涂布 (Nano particle inks)
奈米碳管墨水涂布 (Nano tube inks)
保护胶涂布 (Conformal coating)
燃料电池-白金触媒喷涂
太阳能电池- 磷酸喷涂、氯化镉 (CdCl2)喷涂
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-USI 设备:
MAX 800 应用与架构
Prism 系列与应用
PV360 与 PV480 在矽晶圆与薄膜太阳能电池应用
FP 1200 玻璃面板涂布应用
助焊剂喷涂系统于回焊炉中的应用
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